超純（chún）高壓氣動隔膜閥 DHP

超純高壓氣動隔膜閥 DHP

DHP係列超（chāo）純高壓氣動隔膜閥適用（yòng）於半導體行業（yè）高純氣體高壓工況下的輸送（sòng），產品在采用緊湊設計的同時（shí），實現（xiàn）高CV值。在高標準的潔淨室內（nèi）生產，EP電解拋（pāo）光處理內表麵，粗糙度可達Ra≤5μin。每個產品都需要經過氦質（zhì）譜泄漏測試，從而保（bǎo）障應用安全性。

材料（liào）

閥體：SS316L、SS316L VAR、SS316L VIM/VAR

閥座：PCTFE/PFA/PI

膜（mó）片：鈷基超級合金、Hastelloy C-22、SS316L

使用溫度

PCTFE: -10~80°C

PFA/PI: -10~150°C

最高使用壓力：3500psi（240Bar）

閥體內漏率：≤1.0x10-9 Pa･m3/sec He

閥體外漏率：≤1.0x10-9 Pa･m3/sec He

內表麵粗糙度

BA級：Ra≤10μin（0.25μm）

EP級：Ra≤5μin （0.13μm）

連接選擇：VCR公頭、VCR母（mǔ）頭、卡套接頭、對焊管接頭

氣動（dòng）操作選擇：常閉（NC）