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同swagelok的VCR、Parker的VacuSeal、Fujikin的UJR係列接（jiē）頭（tóu）一樣，因其超潔（jié）淨、高精度、真空高壓皆無泄漏及超長（zhǎng）壽...
同swagelok的VCR、Parker的VacuSeal、Fujikin的UJR係列接頭一樣，因其超潔淨、高精度、真空高壓皆無泄漏及（jí）超長壽...
超純高壓手動隔膜（mó）閥 DHM
DHM係列超純高壓手動隔膜閥適用（yòng）於半導體行業高純氣體（tǐ）高壓（yā）工況下的（de）輸送，產品在采用緊湊設計的同時，實現高CV值。在高標準的潔（jié）淨室內（nèi）生產，EP電解拋光處理內表麵，粗糙（cāo）度可達Ra≤5μin。每個產品都需要經過氦（hài）質譜泄漏測試，從而（ér）保障應用安全性。
材料
閥（fá）體：SS316L、SS316L VAR、SS316L VIM/VAR
閥座：PCTFE/PFA/PI
膜片：鈷基超級合金、Hastelloy C-22、SS316L
使用溫度：PCTFE: -10~80℃
PFA/PI: -10~150℃
最高使用壓力：3500psi（240Bar）
閥體內漏率：≤1.0x10-9 Pa･m3/sec He
閥體外漏率：≤1.0x10-9 Pa･m3/sec He
|
規格 |
1/4” |
3/8” |
1/2” |
|
CV值（流量係數） |
0.27 |
0.27 |
0.27 |
內表（biǎo）麵粗糙度
BA級：Ra≤10μin（0.25μm）
EP級：Ra≤5μin （0.13μm）
連接選擇：VCR公頭、VCR母頭、卡套接頭、對（duì）焊管接頭（tóu）
氣動操作選擇：常閉（NC）
尺寸僅供參考, 實物可能會變動。
編碼（mǎ）
兩端接頭
A(mm)
B(mm)
C(mm)
D(mm)
E(mm)
F(mm)
G(mm)
DHM04M
1/4"VCR公頭
60
11.1
73.7
48
28.6
29
25.4
DHM04F
1/4"VCR母頭
76.6
11.1
73.7
48
28.6
29
25.4
DHM04T
1/4"卡套（tào）接頭
49.7
11.1
73.7
48
28.6
29
25.4
DHM06T
3/8"卡套接頭
51.7
11.1
73.7
48
28.6
29
25.4
DHM04W
1/4"對焊
48.2
11.1
73.7
48
28.6
29
25.4
DHM06W
3/8"對（duì）焊
48.2
11.1
73.7
48
28.6
29
25.4
DHM08W
1/2"對焊
48.2
11.1
73.7
48
28.6
29
25.4
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